PVA BRUSH

어떠한 불순물도 용납할 수 없는 반도체 산업에서 CMP 공정 후 발생하는 오염 Defect을 해결하는 것은 수율 향상의 핵심이며, 그 중심에는기능성 PURIENCE PVA brush가 있습니다.

제품소개서 다운로드
Download

PVA BRUSH 특징

습윤 시 높은 탄력성
다양한 Brush 모양 제조 가능
기공 크기 조절 가능
기계적 물성 우수 및 내마모성
햇빛과 자외선에 강함
습윤 상태일 때 80℃, 건조 상태일 때 120℃의 내열성
먼지 발생이 없음
12~18배의 수분 흡수 가능
기공이 open cell 형태로 연결
PVA 브러쉬 사양
품번
품번
품번
TC70-MA31-H218
PURIENCE_70-31_BRUSH_AMAT
70mm X 31mm X 218mm
TC60-OD32-H254
PURIENCE_60-32_BRUSH_LAM
60mm X 32mm X 254mm
TC38-EP18-H218
PURIENCE_38-18_BRUSH_EBARA
38mm X 18mm X 218mm
TC60-OD32-H254
PURIENCE_38-18_BRUSH_EBARA0
38mm X 18mm X 218mm
TC38-EP18-H218
PURIENCE_300A_CONNECTED_BRUSH_AMAT
70mm X 31mm X 318mm
물리적 특성
규격
200MM(8inch)​
300MM(12inch)​
이미지
평균기공크기(㎛)
25㎛,96㎛​
80㎛​
기공률(%)
88-90%​
90%​
수분흡수율(%)
700-1100%​
817%​
기공률(%)
1.2436g/cm3​
1.3016g/cm3​
CHEMICALRESISTANCE 내화학성​
Chemical
Consertration
Chemical
Concentration
Acetic acid
TC70-MA31-H218
PURIENCE_70-31_BRUSH_AMAT
70mm X 31mm X 218mm
Acetone​
TC60-OD32-H254
PURIENCE_60-32_BRUSH_LAM
60mm X 32mm X 254mm
Ammonium hydroxide​
TC38-FR18-H218
PURIENCE_38-18_BRUSH_EBARA
38mm X 18mm X 218mm
Citric acid​
TC38-EP18-H218
PURIENCE_38-18_BRUSH_EBARA0
38mm X 18mm X 218mm
EDTA​
TC38-EP18-H218
PURIENCE_300A_CONNECTED_BRUSH_AMAT
70mm X 31mm X 318mm
Ethanol​
TC38-EP18-H218
PURIENCE_300A_CONNECTED_BRUSH_AMAT
60mm X 32mm X 254mm
Hydrochloric acid​
TC38-EP18-H218
PURIENCE_300A_CONNECTED_BRUSH_AMAT
38mm X 18mm X 218mm
Hydrofluoric acid​
TC38-EP18-H218
PURIENCE_300A_CONNECTED_BRUSH_AMAT
38mm X 18mm X 218mm
Hydrogen peroxide​
TC38-EP18-H218
PURIENCE_300A_CONNECTED_BRUSH_AMAT
70mm X 31mm X 318mm
CONTAMINATION금속/이온오염​
Ion​
Concentration(ppb)​
Br-​
<0.5​
Cl-​
<0.5​
F-​
<0.5​
NO3-​
<0.5​
Br-​
<0.5​
Cl-​
<0.5​
F-​
<0.5​
NO3-​
<0.5​
Br-​
<0.5​
Cl-​
<0.5​
F-​
<0.5​
NO3-​
<0.5​
Ion​
Concentration(ppb)​
Br-​
<0.5​
Cl-​
<0.5​
F-​
<0.5​
NO3-​
<0.5​
Br-​
<0.5​
Cl-​
<0.5​
F-​
<0.5​
NO3-​
<0.5​
Br-​
<0.5​
Cl-​
<0.5​
F-​
<0.5​
NO3-​
<0.5​